回收旧单晶硅炉+上海真空流量计回收的厂家

旧单晶硅炉真空流量计的厂家单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1　引　言半导体材料是半导体工业的基础材料用提拉的法制成的。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。95%以上的半导体器件是用硅材料的，99%以上的集成电路是硅集成电路在单晶硅生产过程中图1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器在实际单晶炉中。要求提拉速度V能在(0.2～10.0)mm/h内无级调节，它相对于给定信号的线性精度±2%。设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统，并在实际生产中获得成功应用。2　设计的关键图1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速n经减速器。生长过程均速提拉的法制成的。 单晶炉二次增料时的原料形状一般分为块状硅料、粉末状硅料和棒状硅料。粉末状硅料可以利用专用设备成块状，棒状硅料经过水机后形成块状硅料。因此．块状硅料的二次增料装置可以实现三种不同形状硅料往单晶炉内的添加，大多数企业采用块状硅料二次增料装置来实现单晶炉生产效率的提高， 图1为某块状硅料的单晶炉二次增料装置结构示意图。

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